U valore target di l'umidità relativa in una stanza bianca di semiconduttori (FAB)

U valore obiettivu di l'umidità relativa in una stanza bianca di semiconduttori (FAB) hè circa da 30 à 50%, ciò chì permette un margine d'errore strettu di ±1%, cum'è in a zona di litografia - o ancu menu in a zona di trasfurmazione ultravioletta luntana (DUV) - mentre chì in altrò pò esse rilassatu à ±5%.
Perchè l'umidità relativa hà una seria di fattori chì ponu riduce e prestazioni generali di e camere pulite, cumpresi:
1. Crescita batterica;
2. Gamma di cunfortu di a temperatura ambiente per u persunale;
3. Apparisce una carica elettrostatica;
4. Corrosione di i metalli;
5. Cundensazione di vapore acqueo;
6. Degradazione di a litografia;
7. Assorbimentu d'acqua.

I batteri è altri contaminanti biologichi (muffe, virus, funghi, acari) ponu prosperà in ambienti cù una umidità relativa di più di 60%. Certe cumunità batteriche ponu cresce à una umidità relativa di più di 30%. L'impresa crede chì l'umidità deve esse cuntrullata in u range di 40% à 60%, ciò chì pò minimizà l'impattu di i batteri è di l'infezioni respiratorie.

L'umidità relativa trà 40% è 60% hè ancu un intervallu moderatu per u cunfortu umanu. Troppa umidità pò fà chì e persone si sentinu soffocate, mentre chì l'umidità sottu à 30% pò fà chì e persone si sentinu secche è screpolate, discomfort respiratoriu è infelicità emotiva.

L'alta umidità riduce in realtà l'accumulazione di cariche elettrostatiche nantu à a superficia di a stanza bianca - un risultatu desideratu. A bassa umidità hè ideale per l'accumulazione di carica è una fonte potenzialmente dannosa di scarica elettrostatica. Quandu l'umidità relativa supera u 50%, e cariche elettrostatiche cumincianu à dissipà si rapidamente, ma quandu l'umidità relativa hè inferiore à u 30%, ponu persiste per un bellu pezzu nantu à un isolante o una superficia senza messa à terra.

L'umidità relativa trà 35% è 40% pò esse aduprata cum'è un compromessu soddisfacente, è e camere pulite di semiconduttori generalmente utilizanu cuntrolli supplementari per limità l'accumulazione di cariche elettrostatiche.

A velocità di parechje reazzioni chimiche, cumpresi i prucessi di currusione, aumenterà cù l'aumentu di l'umidità relativa. Tutte e superfici esposte à l'aria intornu à a stanza bianca sò veloci.