Schema di Aria di Ritornu Secundariu Per Sistema di Climatizazione

L'attellu micro-elettronicu cù un spaziu di stanza pulita relativamente chjuca è un raghju limitatu di u duct di l'aria di ritornu utilizatu per aduttà u schema di l'aria di ritornu secundariu di u sistema di climatizazione. Stu schema hè ancu cumunimenti usatu instanze pulitein altre industrie, cum'è a farmacia è l'assistenza medica. Perchè u voluminu di ventilazione per risponde à i bisogni di l'umidità di a temperatura di a stanza pulita hè generalmente assai menu di u voluminu di ventilazione necessariu per ghjunghje à u livellu di limpezza, per quessa, a diferenza di temperatura trà l'aria furnita è l'aria di ritornu hè chjuca. Se u schema di l'aria di ritornu primariu hè utilizatu, a diferenza di temperatura trà u puntu di u statu di l'aria di furnimentu è u puntu di rugiada di l'unità di l'aria condizionata hè grande, hè necessariu un riscaldamentu secundariu, risultatu in u calore friddu offset in u prucessu di trattamentu di l'aria è più cunsumu d'energia. . Se u schema di l'aria di ritornu secundariu hè utilizatu, l'aria di ritornu secundariu pò esse usata per rimpiazzà u riscaldamentu secundariu di u schema di l'aria di ritornu primariu. Ancu s'è l'aghjustamentu di u rapportu di l'aria di ritornu primariu è secundariu hè un pocu menu sensibile cà l'aghjustamentu di u calore secundariu, u schema di l'aria di ritornu secundariu hè statu largamente ricunnisciutu com'è una misura di risparmiu d'energia di l'aria condizionata in l'attelle pulite micro-elettroniche chjuche è mediu. .

Pigliate un attellu pulitu di microelettronica ISO class 6 per esempiu, l'area di attellu pulita di 1 000 m2, l'altezza di u tettu di 3 m. I paràmetri di u disignu interiore sò a temperatura tn= (23±1) ℃, l'umidità relativa φn=50%±5%; U voluminu di furnimentu di l'aria di cuncepimentu hè 171.000 m3 / h, circa 57 h-1 volte di scambiu d'aria, è u voluminu di l'aria fresca hè 25.500 m3 / h (di quale u voluminu di l'aria di scarico di prucessu hè 21.000 m3 / h, è u restu hè volume d'aria di fuga di pressione positiva). A carica di calore sensibile in l'attellu pulitu hè 258 kW (258 W / m2), u rapportu calore / umidità di l'aria condizionata hè ε = 35 000 kJ / kg, è a differenza di temperatura di l'aria di ritornu di a stanza hè 4,5 ℃. A stu tempu, u vulume primariu aria ritornu di
Questu hè attualmente a forma più comunmente usata di u sistema di purificazione di l'aria condizionata in a stanza pulita di l'industria microelettronica, stu tipu di sistema pò esse principalmente divisu in trè tippi: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (bobina secca) + FFU. Ognunu hà i so vantaghji è svantaghji è i posti adattati, l'effettu di risparmiu d'energia dipende principarmenti da u rendiment di u filtru è di u fan è altri equipaghji.

1) Sistema AHU+FFU.

Stu tipu di modu di sistema hè utilizatu in l'industria di a microelettronica cum'è "u modu di separà a fase di l'aria condizionata è a purificazione". Ci ponu esse duie situazioni: una hè chì u sistema di climatizazione solu tratta di l'aria fresca, è l'aria fresca trattata porta tutta a carica di calore è umidità di a stanza pulita è agisce cum'è un supplementu d'aria per equilibrà l'aria di scarico è a fuga di pressione positiva. di a stanza pulita, stu sistema hè ancu chjamatu sistema MAU + FFU; L'altru hè chì u voluminu di l'aria fresca solu ùn hè micca abbastanza per risponde à i bisogni di a carica di u fretu è di u calore di a stanza pulita, o perchè l'aria fresca hè trattata da u statu esterno à u puntu di rugiada diffarenza entalpia specifica di a macchina necessaria hè troppu grande. , è una parte di l'aria interna (equivalente à un aria di ritornu) hè tornata à l'unità di trattamentu di l'aria condizionata, mischjata cù l'aire frescu per u trattamentu di u calore è l'umidità, è dopu mandata à u plenum di furnimentu d'aria. Mischiatu cù l'aria di ritornu di a stanza pulita restante (equivalente à l'aria di ritornu secundaria), entra in l'unità FFU è poi u manda in a stanza pulita. Da u 1992 à u 1994, u sicondu autore di stu documentu hà cooperatu cù una sucietà di Singapore è hà guidatu più di 10 studienti graduate à participà à u disignu di a joint venture US-Hong Kong SAE Electronics Factory, chì hà aduttatu l'ultimu tipu di purificazione di l'aria condizionata è sistema di ventilazione. U prughjettu hà una stanza pulita ISO Classe 5 di circa 6.000 m2 (1.500 m2 di quale hè statu cuntrattu da l'Agenzia Atmosferica di u Giappone). A stanza di l'aria condizionata hè disposta parallella à u latu di a stanza pulita longu u muru esternu, è solu adiacente à u corridore. L'aria fresca, l'aria di scarico è i tubi di l'aria di rinviu sò curtu è disposti lisamente.

2) Schema MAU+AHU+FFU.

Sta suluzione hè cumunimenti truvata in i pianti di microelettronica cù parechje esigenze di temperatura è umidità è grande differenze in a carica di calore è umidità, è u livellu di pulizia hè ancu altu. In l'estiu, l'aria fresca hè rinfriscata è dehumidificata à un puntu di paràmetru fissu. Hè di solitu apprupriatu per trattà l'aria fresca à u puntu di intersezzione di a linea entalpia isometrica è a linea di umidità relativa di 95% di a stanza pulita cù a temperatura è l'umidità rappresentativa o a sala pulita cù u più grande volume d'aire frescu. U voluminu di l'aria di MAU hè determinatu secondu i bisogni di ogni stanza pulita per rinfurzà l'aria, è hè distribuitu à l'AHU di ogni stanza pulita cù tubi secondu u voluminu d'aire frescu necessariu, è hè mischiatu cù un pocu di aria di ritornu interni per u calore. è trattamentu di umidità. Questa unità porta tutta a carica di calore è umidità è parte di a nova carica di reumatismu di a stanza pulita chì serve. L'aria trattata da ogni AHU hè mandata à u plenum di l'aria di furnimentu in ogni stanza pulita, è dopu a mistura secundaria cù l'aria di ritornu interni, hè mandata in a stanza da l'unità FFU.

U vantaghju principali di a suluzione MAU + AHU + FFU hè chì, in più di assicurà a pulizia è a pressione positiva, assicura ancu e diverse temperature è umidità relativa necessaria per a produzzione di ogni prucessu di stanza pulita. Tuttavia, spessu a causa di u numeru di AHU stallatu, occupanu a zona di stanza hè grande, a stanza pulita aria fresca, aria di ritornu, pipelines di furnimentu d'aria crisscross, occupanu un grande spaziu, u layout hè più fastidiosu, u mantenimentu è a gestione hè più difficiule. è cumplessu, dunque, senza esigenze spiciali quantu pussibule per evitari l'usu.