Schema di ritornu d'aria secundaria per u sistema di climatizazione

L'attellu microelettronicu cù una zona di stanza bianca relativamente chjuca è un raghju limitatu di u cunduttu di ritornu di l'aria hè utilizatu per aduttà u schema di ritornu di l'aria secundaria di u sistema di climatizazione. Stu schema hè ancu cumunemente utilizatu incamere pulitein altre industrie cum'è a farmaceutica è l'assistenza medica. Siccomu u vulume di ventilazione per risponde à i requisiti di temperatura è umidità di a stanza pulita hè generalmente assai menu di u vulume di ventilazione necessariu per ghjunghje à u livellu di pulizia, dunque, a differenza di temperatura trà l'aria di mandata è l'aria di ritornu hè chjuca. Sè si usa u schema di l'aria di ritornu primaria, a differenza di temperatura trà u puntu di statu di l'aria di mandata è u puntu di rugiada di l'unità di climatizazione hè grande, hè necessariu un riscaldamentu secundariu, chì risulta in u offset di u calore fretu in u prucessu di trattamentu di l'aria è un cunsumu energeticu più grande. Sè si usa u schema di l'aria di ritornu secundaria, l'aria di ritornu secundaria pò esse aduprata per rimpiazzà u riscaldamentu secundariu di u schema di l'aria di ritornu primaria. Ancu s'è l'aghjustamentu di u rapportu di l'aria di ritornu primaria è secundaria hè ligeramente menu sensibile chè l'aghjustamentu di u calore secundariu, u schema di l'aria di ritornu secundaria hè statu largamente ricunnisciutu cum'è una misura di risparmiu energeticu di climatizazione in i picculi è medi attelli puliti microelettronici.

Pigliate cum'è esempiu un attellu pulitu di microelettronica di classe ISO 6, a zona di l'attellu pulitu di 1 000 m2, l'altezza di u tettu di 3 m. I parametri di cuncepimentu internu sò a temperatura tn = (23 ± 1) ℃, l'umidità relativa φn = 50% ± 5%; U vulume di furnitura d'aria di cuncepimentu hè 171.000 m3 / h, circa 57 h-1 tempi di scambiu d'aria, è u vulume d'aria fresca hè 25 500 m3 / h (di quale u vulume d'aria di scaricu di prucessu hè 21 000 m3 / h, è u restu hè vulume d'aria di perdita di pressione pusitiva). U caricu termicu sensibile in l'attellu pulitu hè 258 kW (258 W / m2), u rapportu calore / umidità di u climatizzatore hè ε = 35 000 kJ / kg, è a differenza di temperatura di l'aria di ritornu di a stanza hè 4,5 ℃. In questu mumentu, u vulume d'aria di ritornu primariu di
Questa hè attualmente a forma più cumunamente aduprata di sistema di climatizazione di purificazione in a stanza bianca di l'industria microelettronica, stu tipu di sistema pò esse divisu principalmente in trè tippi: AHU + FFU; MAU ​​+ AHU + FFU; MAU ​​+ DC (serpentina secca) + FFU. Ognunu hà i so vantaghji è svantaghji è lochi adatti, l'effettu di risparmiu energeticu dipende principalmente da e prestazioni di u filtru è di u ventilatore è di altre apparecchiature.

1) Sistema AHU+FFU.

Stu tipu di modu di sistema hè adupratu in l'industria microelettronica cum'è "u modu di separà a fase di climatizazione è di purificazione". Ci ponu esse duie situazioni: una hè chì u sistema di climatizazione tratta solu l'aria fresca, è l'aria fresca trattata porta tutta a carica di calore è umidità di a stanza pulita è agisce cum'è un supplementu d'aria per equilibrà l'aria di scaricu è a perdita di pressione pusitiva di a stanza pulita, stu sistema hè ancu chjamatu sistema MAU + FFU; L'altra hè chì u vulume d'aria fresca solu ùn hè micca abbastanza per risponde à i bisogni di carica di fretu è calore di a stanza pulita, o perchè l'aria fresca hè trattata da u statu esterno à u puntu di rugiada a differenza di entalpia specifica di a macchina necessaria hè troppu grande, è una parte di l'aria interna (equivalente à un'aria di ritornu) hè restituita à l'unità di trattamentu di climatizazione, mischiata cù l'aria fresca per u trattamentu di calore è umidità, è poi mandata à u plenum di furnitura d'aria. Mischiata cù l'aria di ritornu restante di a stanza pulita (equivalente à l'aria di ritornu secundaria), entra in l'unità FFU è poi a manda in a stanza pulita. Da u 1992 à u 1994, u secondu autore di questu articulu hà cooperatu cù una sucietà singaporiana è hà guidatu più di 10 studienti laureati à participà à a cuncepzione di a joint venture US-Hong Kong SAE Electronics Factory, chì hà aduttatu quest'ultimu tipu di sistema di purificazione di l'aria condizionata è di ventilazione. U prugettu hà una stanza bianca ISO Classe 5 di circa 6.000 m2 (1.500 m2 di i quali sò stati appaltati da l'Agenzia Atmosferica Giapponese). A stanza di climatizazione hè disposta parallelamente à u latu di a stanza bianca longu u muru esternu, è solu adiacente à u corridore. I tubi di l'aria fresca, di l'aria di scaricu è di l'aria di ritornu sò corti è disposti senza intoppi.

2) Schema MAU+AHU+FFU.

Sta suluzione hè cumunemente truvata in l'impianti di microelettronica cù esigenze multiple di temperatura è umidità è grandi differenze in u caricu di calore è umidità, è u livellu di pulizia hè ancu altu. In estate, l'aria fresca hè raffreddata è deumidificata finu à un puntu di parametru fissu. Di solitu hè apprupriatu trattà l'aria fresca finu à u puntu d'intersezione di a linea di entalpia isometrica è a linea di umidità relativa di u 95% di a stanza pulita cù temperatura è umidità rappresentative o a stanza pulita cù u più grande vulume d'aria fresca. U vulume d'aria di MAU hè determinatu secondu i bisogni di ogni stanza pulita per rifornisce l'aria, è hè distribuitu à l'AHU di ogni stanza pulita cù tubi secondu u vulume d'aria fresca necessariu, è hè mischiatu cù un pocu d'aria di ritornu interna per u trattamentu di calore è umidità. Sta unità porta tuttu u caricu di calore è umidità è una parte di u novu caricu reumatismu di a stanza pulita chì serve. L'aria trattata da ogni AHU hè mandata à u plenum di l'aria di mandata in ogni stanza pulita, è dopu a miscelazione secundaria cù l'aria di ritornu interna, hè mandata in a stanza da l'unità FFU.

U principale vantaghju di a suluzione MAU+AHU+FFU hè chì, in più di assicurà a pulizia è a pressione pusitiva, assicura ancu e diverse temperature è l'umidità relativa necessarie per a pruduzzione di ogni prucessu di stanza bianca. Tuttavia, spessu per via di u numeru di AHU installate, occupanu a zona di a stanza grande, l'aria fresca di a stanza bianca, l'aria di ritornu, e tubazioni di furnimentu d'aria si incrucianu, occupanu un grande spaziu, u layout hè più problematicu, a manutenzione è a gestione sò più difficili è cumplesse, dunque, ùn ci sò esigenze speciali per evità l'usu in quantu pussibule.